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CVD气相沉积炉2

发布时间:2020-06-22󰇰浏览次数:1169
CVD气相沉积炉2

化学气相沉积炉应用领域:

化学气相沉积炉(沉积炭)可用于以碳氢气体(如C3H8等)为碳源的复合材料的化学气相沉积,如C/C复合材料、SiC复合材料等CVD、CVI处理。


化学气相沉积炉产品规格:

产品型号/规格W×H×L(mm)

600*600*1000

800*800*1200

1000*1000*1500

1200*1200*2500

1500*1500*3000

2500*2000*3600

装载重量(KG)

350

800

1500

2500

5000

10000

**温度(℃)

1500

1500

1500

1500

1500

1500

温度均匀性(℃)

±7.5

±7.5

±7.5

±10

±10

±15

加热功率(kw)

250

360

480

600

900

1200

极限真空度(Pa)

20

20

20

20

20

20

压升率(Pa/h)

0.67

0.67

0.67

0.67

0.67

0.67

以上化学气相沉积炉参数可以根据工艺要求进行调整,不作为验收依据,具体以技术方案和协议为准。



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